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半導体製造装置用材料：ベローズ用途
化学成分
| 区分 | 合金名 | UNS合金記号 (JIS合金記号) |
相当 合金 |
化学成分例 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Ni | Cr | Mo | Co | Fe | その他 | ||||
| 耐食合金 | DSALOY22 | N06022 | Hastelloy C-22 | Bal. | 20.0-22.5 | 12.5-14.5 | ≦2.5 | 2.0-6.0 | W 2.5-3.5 V≦0.35 |
| DSALOY625 | N06625 (NCF625) |
Inconel 625 | ≧58.0 | 20.0-23.0 | 8.0-10.0 | ≦1.0 | ≦5.0 | Al≦0.40 Ti≦0.40 Nb+Ta 3.15-4.15 |
|
| DSALOY242 | N10242 | HAYNES 242 | Bal. | 7.0-9.0 | 24.0-26.0 | ≦1.0 | ≦2.0 | Cu≦0.50 | |
| DSALOY C-276 | N10276 | Hastelloy C-276 | Bal. | 14.5-16.5 | 15.0-17.0 | ≦2.5 | 4.0-7.0 | W 3.0-4.0 V ≦0.35 |
|
| 耐食合金 (析出強化型) |
DSP5 | S35000 | AM350 | 4.0-5.0 | 16.0-17.0 | 2.5-3.2 | - | Bal. | Mn 0.5-1.25 |
- ※InconelはSpecial Metals Corporationの登録商標です。
- ※Hastelloy、HAYNESはHaynes International,Inc.の登録商標です。
- ※AM350はAllegheny Technologies Inc.の登録商標です。
その他特徴
| 区分 | 合金名 | 熱処理 | 引張強さ (N/mm2) |
伸び (%) |
|---|---|---|---|---|
| 耐食合金 | DSALOY22 | A | ≧690 | ≧45 |
| DSALOY625 | A | ≧760 | ≧30 | |
| DSALOY242 | A | ≧725 | ≧40 | |
| DSALOY C-276 | A | ≧690 | ≧40 | |
| 耐食合金 (析出強化型) |
DSP5 | ST+AG | ≧1,300 | ≧4 |
| 区分 | 合金名 | 合金の一般特性 |
|---|---|---|
| 耐食合金 | DSALOY22 | Wが添加されたNi-Cr-Mo合金で還元性及び酸化性双方の腐食環境で、あらゆる腐食に対して優れた耐食性があります。 |
| DSALOY625 | 熱処理なしで高強度を発揮する固溶強化型のNbを添加したNi-Cr-Mo合金で､広範の厳しい腐食環境に優れた耐食性があります。 | |
| DSALOY242 | 高温強度、対酸化性に優れており、高温で使用可能です。また低膨張といった特徴を有します。 | |
| DSALOY C-276 | 広範な厳しい腐食環境に対して優れた耐食性があります。溶接性も良好です。 | |
| 耐食合金 (析出強化型) |
DSP5 | セミオーステナイト系析出硬化型ステンレス鋼に分類され、硬化処理によりマルテンサイト系ステンレス鋼と同等の強度が得られます。非酸化性酸に対する耐食性に優れています。 |
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